日本雅马拓YAMATO等离子清洗机V1000X

13.56MHz 高频输出的等离子清洗机,搭载RIE·DP 双模式。

使用等离子的表面处理装置。着重于“使用简单”的台式 
高性能型号,调取数据简单,以电子材料为中心,可对应 
多种用途。 
●可变更电极构造提高等离子效果。 
●搭载高精度适配器,高性能RF电源。 
●可根据需求规格提供定制。 
特征 
●硅晶圆的灰化及蚀刻 
●基板表面污垢处理 
●IC/LED封装、BGA/CSP基板处理 
●半导体相关部品的电子材料的干式清洗 
●自然氧化膜·有机物去除 
●界面活性处理 
●表面污染物去除

13.56MHz 高频输出的等离子清洗机,搭载RIE·DP 双模式。

等离子模式 DP/RIE
高频电源 13.56MHz
输出功率 Max1000 & 1500W
有效电极尺寸 W300×D300mm
电极 2段电极(独立)
反应气体 聚合控制器2系统(填充气路另行安装)
真空泵(标配) 约1500L/min
安全装置 门检测开关、联锁机构、紧急停止开关、温度过升防止器等